Model: VTC-750-PO

Xuất xứ: Hàn Quốc

Điều khiển hoàn toàn tự động bằng máy tính, kiểm tra các thông số quá trình mạ bằng phần mềm, có sơ đồ mô phỏng trực quan, dễ dàng kiểm soát thay đổi các tham số của quá trình mạ….

Kích thước sản phẩm mạ: Ø 10-300 mm;

Mạ nhiều lớp, chiều dày lớp mạ từ 10-150nm;

Hệ thống đảm bảo mạ được chi tiết 150mm với độ đồng đều 3% và mạ sản phẩm đường kính 250 mm với độ đồng đều 4%

2.1.1. Buồng chân không

Đường kính buồng: 750 mm, chiều cao  buồng 1000 mm  vật liệu buồng chế tạo bằng thép không gỉ SUS 304.

Lớp ốp bên trong: được tháo dễ dàng tiện cho việc vệ sinh

Cánh cửa buồng được đặt ở phía trước của buồng chân không.
Cửa được điều khiển bằng điện và khí nén và được bịt kín bằng các gioăng đệm cao su.
Cánh cửa có ô quan sát bằng kính cường lực để xem các hoạt động bên trong.
2.1.2. Nguồn tia Ion

Model: VTC-EIS-2HC ( Hàn Quốc)

Bao gồm: Súng ion, Nguồn cấp

Vật liệu Filament : dây Tungsten

Dòng Anode : 0 ~ 5A

Điện áp anode: 0 ~ 250V

Dòng Cathode : 0 ~ 30A

 2.1.3: Nguồn tia bức xạ E-Beam

Model: 244, Telemark USA

Số lượng: 2 súng

Dây điện cực: Tungsten

Nguồn được lắp ráp trên buồng chân không, gồm cáp kết nối, điện áp cao, hệ thống làm mát xung quanh.

Nguồn cung cấp: Carrera 5, Ferrotec Đức

Với 01 thiết bị chuyển mạch cho 2 súng EBG

Công suất nguồn max: 5 kW

Điện áp điều khiển: 4 ~ 10kV

Dòng bốc bay: 0 ~ 500mA

Mỗi súng EB được trang bị với các cửa sập

 2.1.4: Nguồn nhiệt bốc bay

Nguồn bốc bay được có nhiệm vụ làm bốc hơi vật liệu phủ bằng phương pháp bốc hơi nhiệt

Điện cực bằng đồng,  có nước làm mát, đĩa chứa bằng Molybdenum, nguồn cấp, cáp và kết nối

Tổng số lượng: 02 bộ

Công suất: 3KW

Mỗi nguồn bốc bay đều có các cửa sập

 2.1.5: Hệ thống gia nhiệt phôi, sau mái vòm

Nguồn điện kết nối xuyên suốt và cáp nối cho mỗi đầu, đường kính 3,2 mm, chiều dài 11m.

Công suất nguồn: 1,4 KW

Hệ thống cung cấp nhiệt cho các chất nền nhiệt độ tối đa 350 ±5℃.

Hệ thống kết hợp bộ điều khiển dòng quá giới hạn đảm bảm an toàn cho người sử dụng

 2.1.6: Bộ gá dạng vòm (VacTec-Korea)

Được thiết kế để gá chi tiết mạ, các chi tiết được cố định bằng cơ cấu giữ tránh tình trạng làm dịch chuyển chi tiết mạ, bộ gá cung cấp cho lớp phủ đồng nhất  ± 4%  với đường kính phôi 250 mm và ± 3% với đường kính phôi 150 mm trong trường hợp  chất nền Ti2O3 bốc bay.

Hệ thống mái vòm điều khiển tốc độ chạy hiển thị số

Số lượng phôi: 3 phôi kích thước 250 mm

Đường kính : 650 mm

 2.1.7. Hệ thống bơm

Hệ thống bơm chân không bao gồm:

Bơm tubor

Bơm quay

Bơm Booster

Hệ thống van

2.1.7.1: Bơm TUBOR

Model: MAG 2200 ip, Leybold Vacuum German

Số lượng: 2 bộ

Tốc độ bơm: 2100 lít/s (Nitrogen)

Áp suất danh định 1.0 E-8 mbar

Làm mát bằng nước

Nguồn tiêu thụ: 0,75 Kw

2.1.7.2. Bơm quay:

Model: D65B, Leybold Vacuum German

Số lượng: 1 bộ

Công suất: 3kw tại tần số 60Hz

Thể tích: 65 m3/h tại tần số 60Hz, kiểu tầng kép

Áp lực cao nhất: 1.0e-4mbar, một phần, không có gas ballast

Kết nối đầu vào: ISO 40

Đường ống kết nối ngoài: 25 mm

Động cơ: 2,2kW ở  60Hz

Trọng lượng: 80 kg

2.1.7.3. Bơm tăng áp

Model: RUVAC501, Leybold Vacuum German

Số lượng: 1 bộ

Tốc độ bơm: 606 m3/h tại tầng số 60Hz

Kết nối đầu vào: DN63 ISO-K

Đường ống kết nối đầu ra DN63 ISO-K

Động cơ: 2,2 kW ở 60Hz

Trọng lượng: 128 kg

2.1.7.4. Van chân không

Van chân không: loại góc, đường kính 4inch

Van Vent: loại góc, đường kính 1¼ inch  với bộ lọc  khí

* Thời gian lưu thông khí có thể được điều chỉnh trong khoảng 0,5 ~ 5 phút

* Tất cả các loại van được hoạt động bằng điện và khí nén.

2.1.7.5. CRYOPUMP Cho hơi nước

Model: Cryo-6

Được dùng  cho bơm hơi nước để giảm tổng thời gian bơm.

Nó bao gồm

Cryopump stack với máy nén và bảng điều khiển hoạt động

Bề mặt Cryo được cài đặt bên trong buồng chân không, tốc độ dòng quay trở lại,  xuyên suốt, nhiệt kế.

Nhiệt độ hoạt động: Nhỏ hơn -130 độ C

Hệ thống điều khiển làm mát và gia nhiệt nhanh đảm bảo chất lượng lớp phủ.

2.1.8. HỆ THỐNG PHÂN PHỐI KHÍ

Hệ thống phân phối khí của máy được thiết kế cho quá trình nạp khí (oxygen và argon) vào buồng chân không. Nó bao gồm ống thép không gỉ, bộ điều khiển (MFC), điện và khí nén, đóng mở van

2.1.9. HỆ THỐNG PHÂN PHỐI NƯỚC  VÀ KHÍ NÉN

Hệ thống được thiết kế để cung cấp nước cho buồng, cửa bơm, đầu gia nhiệt, nguồn Ion, nguồn E beam, nguồn bốc bay

Hệ thống khí nén được thiết kế để cung cấp khí nén cho các phần vận hành bằng khí.

Hệ thống được lắp đặt trên một  bảng. Nó được trang bị với đồng hồ đo áp suất, đo lưu lượng và tất cả các cảm biến cần thiết

Áp lực nước đầu vào ở trong  phạm vi của 4 ~ 5 kgF / cm2

Nhiệt độ 10 ~ 25 ℃ áp lực khí nén trong phạm vi 5 ~ 6 kgF / cm2

 2.1.10. HỆ THỐNG ĐIỀU KHIỂN VỚI TỦ ĐIỆN

Tất cả thiết bị điện tử để điều khiển của máy và thiết bị đo được đặt trong khoang ở khung máy. Ngoài ra các nguồn ion Beam và nguồn E-Beam, nguồn điện áp được cài đặt trong tủ này.

2.1.10.1. ĐIỀU KHIỂN PHẦN CỨNG

- Hệ thống máy tính công nghiệp với các phần mềm điều khiển

- Profibus I / O-Hệ thống

- Card điều khiển PCI-Bus cho phép đo độ dày màng và kiểm soát tốc độ, kiểm soát quét của E-GUN, kiểm soát dòng điện

2.1.10.2. PHẦN MỀM ĐIỀU KHIỂN

- Hoạt động hoàn toàn tự động có thể chỉnh sửa người dùng

- Cơ cấu công thức Modular

- Bán tự động và hướng dẫn Hoạt động trên giao diện người dùng đồ họa

- Mật khẩu bảo vệ chế độ hoạt động (Tự động, bằng tay, dịch vụ hỗ trợ)

- Truy cập trực tiếp tới tất cả các điều khiển và I / O-chức năng (Mode Service)

- Hệ thống Hỗ trợ trực tuyến

- Chẩn đoán từ xa và Hoạt động từ xa qua mạng Ethernet hoặc thông qua modem….

 2.1.10.3. Bộ đo chân không 2 cấp

Model: ITR-90,  Leybold Vacuum German

Khoảng đo: from atmosphere to 5.0E-9mbar

Độ chính xác: 30%

Model : TTR-91, Leybold Vacuum German

Khoảng đo : from Atmosphere to 1.0E-3mbar

 2.1.10.4. Đầu cảm biến tinh thể thạch anh (Jeol)

Hệ thống bao gồm 6 cảm biến

Đầu cảm biến hoạt động nhờ tích hợp hệ thống điều khiển giám sát tinh thể

2.1.10.5. HỆ THỐNG GIÁM SÁT QUANG HỌC (Vac-Tec-Korea)

Dải bước sóng: 350 ~ 1100 nm

Sai số bước sóng: ± 1.0 nm

Lỗ chuẩn trực Lens

Đèn halogen 20W Tungsten và phần mềm quang phổ

2.2: Thông số kỹ thuật chính của máy

Kích thước: 2500 W x 1600 D x 1900 H mm

Chiều cao buồng: 1000 mm

Đường kính buồng:750 mm

Áp lực chân không: 3.0E-6mbar

Hệ thống điều khiển: hoàn toàn tự động điều khiển bằng máy tính

Nhiệt độ gia nhiệt chất nền: Max 350⁰C

Công suất tiêu thụ: 30KVA

Nguồn nước làm mát: 5 ~ 6kgF / cm2

Áp suất khí: 4 ~ 5kgF /cm2